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真空濺射離子鍍膜(PVD)服務商

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PVD真空鍍膜廠家淺談真空鍍膜機常見故障

時間:2020-09-13    點擊數:

一、當正在鍍膜時真空度突然下降
1.蒸發源水路膠罔損環(更換膠罔)
2.坩堝被打穿(更換坩堝)
3、高壓電極密封處被擊穿(更換膠圈)
4.工轉動密封處膠圈損壞(更換膠圈)
5、預閥突然關閉可能是二位五通閥損壞(更換二位五通閥)
6、高閥突然關閉可能是=位五通閥損壞(更換二位五通閥)
7.機械泵停機可能是繼電器斷開(檢查繼電器是否工作正常)
8、烘烤引入線電極密封處被擊穿(更換膠罔)
9.擋板動密封處膠固損壞(更換膠園)
10. 玻璃觀察視鏡出現裂紋、炸裂(更換玻璃)
二、長期工作的鍍膜機抽真空的時間很長且達不到工作真空、恢復真空、極限真空、保真空:
1.蒸發室有很多粉塵(應清冼)
2.擴散泵很久未換油(應清冼換油)
3、前級泵反壓強太大機械泵真空度太低(應清冼換油)
4、各動密封膠圈損壞(更換膠園)
5.由于蒸發室長期溫度過高使其各密封膠園老化(更換膠因)
6、蒸發室各引入水路密封處是否有膠罔損壞(更換膠圈)
7.各引入座螺釘螺母有無松動現象(重新壓緊)
8、高低預閥是否密封可靠(注油)。

本文網址:http://www.lyfln.com/news/469.html

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