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真空濺射離子鍍膜(PVD)服務(wù)商

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為什么說真空鍍膜并不簡(jiǎn)單?

時(shí)間:2022-04-14    點(diǎn)擊數(shù):

真空鍍膜在日常生活中非常常見,就是一個(gè)真空系統(tǒng)也比較復(fù)雜,現(xiàn)在,我們一起去探索一下真空鍍膜的設(shè)備秘密吧。

真空鍍膜設(shè)備不是單一的設(shè)備,而是設(shè)備組,它是由真空系統(tǒng)、蒸發(fā)系統(tǒng),蒸發(fā)輔助系統(tǒng),加熱系統(tǒng),整機(jī)的電氣與自動(dòng)化控制系統(tǒng)共同構(gòu)成,今天,我們主要討論的是真空鍍膜設(shè)備中的真空系統(tǒng)。真空泵油霧過濾器也被運(yùn)用在真空系統(tǒng)當(dāng)中,使得真空鍍膜工藝排放無污染,節(jié)能環(huán)保。

真空鍍膜工藝中的真空系統(tǒng)也并非單一的真空泵,而是為了獲得鍍膜工藝中所必須的真空度,就需要將不同的泵進(jìn)行組合使用。一般而言,該組合方式為機(jī)械泵、油擴(kuò)散泵、無油泵組(分子泵、冷凝泵、鈦擴(kuò)散吸附泵)、管道閥門冷阱、真空室、冷卻系統(tǒng)和真空測(cè)量。真空泵油霧過濾器主要用在旋片式機(jī)械泵上面,降低排氣對(duì)空氣產(chǎn)生的污染,在機(jī)械泵前也有必要安裝空濾,防止空氣中的雜質(zhì)與粉塵進(jìn)入泵內(nèi)污染泵油或者造成零部件的磨損。


機(jī)械泵的目的是為了獲得低真空,通過機(jī)械方法改變泵內(nèi)吸氣空腔的體積,使得被抽容器內(nèi)的體積不斷膨脹,從而獲得粗真空,旋片式真空泵由轉(zhuǎn)子、定子和旋片等結(jié)構(gòu)構(gòu)成,其中,定子在油箱中,油起到潤(rùn)滑的目的,揮發(fā)的油經(jīng)由排氣口排出,經(jīng)過真空泵油霧過濾器過濾,油霧顆粒被過濾器捕捉,過濾后可實(shí)現(xiàn)再利用。

當(dāng)然,鍍膜工藝由多種不同的泵組合原因就是為了獲得高真空,因此第二步就是油擴(kuò)散泵,之所以要在油擴(kuò)散泵前安裝機(jī)械泵,是因?yàn)橛蛿U(kuò)散泵不能直接在大氣壓下工作,需要一定的預(yù)備真空度。油擴(kuò)散泵獲得真空的方法主要是油的蒸汽壓與氣體分子的反擴(kuò)散,為了防止油擴(kuò)散泵返油就需要使用優(yōu)質(zhì)的泵以及有效的冷阱,大型鍍膜機(jī)使用更有效的高真空組合。


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